La documentación para la implementación de Linux de /proc está en Documentation/filesystems/proc.txt en la documentación del kernel.
Cuidado con que /proc es una de las áreas donde los *ixes difieren más. Comenzó como una función específica de System V, luego fue ampliada en gran medida por Linux y ahora está en proceso de ser obsoleta por cosas como /sys . Los BSD, incluido OS X, no lo han adoptado en absoluto. Por lo tanto, si escribe un programa o script que accede a cosas en /proc , es muy probable que no funcione en otros *ixes.
Sí, hay una página de manual en la sección 5 "Formatos de archivo y convenciones":
man 5 proc
Sin embargo, es sorprendentemente largo:describe 189 tipos de archivos en /proc .